真空熱處理是將金屬工件在 1個(gè)大氣壓以下(即負壓下)加熱的金屬熱處理工藝。20世紀20年代末，隨著(zhù)電真空技術(shù)的發(fā)展，

出現了真空熱處理工藝，當時(shí)還僅用于退火和脫氣。由于設備的限制，這種工藝較長(cháng)時(shí)間未能獲得大的進(jìn)展。60～70年代，

陸續研制成功氣冷式真空熱處理爐、冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等，使真空熱處理工藝得到了新的發(fā)展。在真空

中進(jìn)行滲碳，在真空中等離子場(chǎng)的作用下進(jìn)行滲碳、滲氮或滲其他元素的技術(shù)進(jìn)展，又使真空熱處理擴大了應用范圍。

真空熱處理可用于退火、脫氣、固溶熱處理、淬火、回火和沉淀硬化等工藝。在通入適當介質(zhì)后，也可用于化學(xué)熱處理。

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